• 結合光學顯微鏡和白光干涉儀的功能，不需要複雜光路調整程序、兼顧體積小、奈米解析度

• 高速精密的干涉解析軟體

• 專業級的3D圖形處理與分析軟體

• 易操作又抗震的機械結構

• 應用於:晶圓、光碟、硬碟、微機電元件、高密度線路印刷電路板、IC封裝以及其它材料分析與元件微表面研究